脉冲调制射频磁控溅射电源的研制
| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| ·磁控溅射技术的现状 | 第10-11页 |
| ·磁控溅射工作原理及特点 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射工作原理 | 第11页 |
| ·磁控溅射技术特点 | 第11-12页 |
| ·磁控溅射电源的分类及特点 | 第12-14页 |
| ·直流磁控溅射 | 第12页 |
| ·脉冲磁控溅射 | 第12-13页 |
| ·中频磁控溅射 | 第13页 |
| ·射频磁控溅射 | 第13-14页 |
| ·国内外磁控溅射电源的现状 | 第14-15页 |
| ·本课题研究的目的、意义、内容和创新点 | 第15-17页 |
| ·研究的目的 | 第15页 |
| ·研究的意义 | 第15页 |
| ·研究的内容 | 第15-16页 |
| ·创新点 | 第16-17页 |
| 第二章 电源整体方案设计 | 第17-24页 |
| ·电源设计指标 | 第17页 |
| ·电源系统框图 | 第17-18页 |
| ·功率放大电路的原理和特性 | 第18-20页 |
| ·直流偏置电路的设计 | 第20-23页 |
| ·集电极馈电电路 | 第20-21页 |
| ·基极馈电电路 | 第21-23页 |
| 本章小结 | 第23-24页 |
| 第三章 射频电源系统的电路设计 | 第24-41页 |
| ·功率放大电路的设计步骤 | 第24-26页 |
| ·石英晶振电路和第一级放大电路 | 第26-28页 |
| ·石英晶振电路的设计 | 第26-27页 |
| ·第一级功率放大电路的设计 | 第27-28页 |
| ·射极跟随电路的设计 | 第28-29页 |
| ·第二级放大电路的设计 | 第29-30页 |
| ·输出级电路的设计 | 第30-40页 |
| ·输出级电路的选择依据 | 第30-31页 |
| ·乙类双管推挽放大电路的设计 | 第31-34页 |
| ·磁性元件的选择 | 第34-35页 |
| ·功率合成原理 | 第35-40页 |
| 本章小结 | 第40-41页 |
| 第四章 脉冲调制电路的设计 | 第41-49页 |
| ·脉冲调制的原理 | 第41页 |
| ·脉冲 PWM 信号产生电路 | 第41-44页 |
| ·脉冲调制芯片 TL494 的应用 | 第41-43页 |
| ·脉冲控制电路的工作原理 | 第43-44页 |
| ·隔离驱动电路的设计 | 第44-46页 |
| ·隔离驱动电路的设计依据 | 第44-45页 |
| ·光耦隔离驱动电路工作原理 | 第45-46页 |
| ·温度检测保护电路 | 第46-48页 |
| ·温度检测电路工作原理 | 第46-47页 |
| ·电容C1 的作用 | 第47-48页 |
| ·温度保护显示电路 | 第48页 |
| 本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 射频电源的布局布线原则 | 第49-53页 |
| ·射频电路布局布线总体原则 | 第49-51页 |
| ·元件的布局原则 | 第49-50页 |
| ·电路的布线原则 | 第50-51页 |
| ·PCB 板的电磁兼容 | 第51-52页 |
| ·PCB 板信号的串扰 | 第51页 |
| ·PCB 板的电磁辐射 | 第51-52页 |
| ·PCB 布局产生的电路自激谐振 | 第52页 |
| ·射频放大电路散热问题 | 第52页 |
| 本章小结 | 第52-53页 |
| 第六章 电路系统调试及应用效果 | 第53-60页 |
| ·射频电源的调试 | 第53-58页 |
| ·输入级电路的调试 | 第53-54页 |
| ·中间级电路的调试 | 第54-55页 |
| ·推挽输出级电路的调试 | 第55-58页 |
| ·脉冲调制电路的调试 | 第58-59页 |
| ·电源整合结果 | 第59页 |
| ·电源在磁控溅射中的应用效果 | 第59页 |
| 本章小结 | 第59-60页 |
| 总结与展望 | 第60-62页 |
| 参考文献 | 第62-65页 |
| 致谢 | 第65-66页 |
| 附录 A 攻读学位期间所发表的学术论文目录 | 第66页 |
