聚合物电光热光混合集成光开关研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-11页
第1章 绪论	第11-15页
·光通信领域发展潜力	第11-12页
·光开关的市场需求	第12-14页
·本论文的主要工作及创新点	第14-15页
第2章 光开关原理	第15-33页
·光开关分类	第15-17页
·光波导模式理论基础	第17-28页
·实现光开关的方法	第28-31页
·小结	第31-33页
第3章 电光热光混合光开关设计	第33-49页
·聚合物材料性质	第33-37页
·电光性质研究	第37-41页
·热光性质研究	第41-42页
·器件结构设计	第42-45页
·版图设计	第45-47页
·小结	第47-49页
第4章 光开关工艺研究	第49-63页
·光刻	第50-51页
·刻蚀	第51-58页
·合金（AM-I 设计与实现）	第58-59页
·蒸发	第59页
·极化（PM-II 设计与实现）	第59-62页
·小结	第62-63页
第5章 光开关封装与测试技术	第63-75页
·电极加载技术	第64-66页
·小信号测试	第66-67页
·大信号测试	第67-69页
·高频线缆对测试信号的影响	第69-70页
·光谱分析技术	第70-71页
·热光谱扫描技术	第71-72页
·小结	第72-75页
第6章 结论	第75-77页
参考文献	第77-81页
作者简介及科研成果	第81-83页
致谢	第83页