Fcc（110）面上薄膜三维生长的计算机模拟研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-18页 |
| ·薄膜研究的意义 | 第10-11页 |
| ·薄膜生长理论研究现状 | 第11-16页 |
| ·本论文的研究内容 | 第16-18页 |
| 第2章 薄膜生长的基本理论 | 第18-38页 |
| ·薄膜生长过程的物理机制 | 第18-24页 |
| ·气相原子在衬底上的吸附 | 第18-19页 |
| ·沉积原子的扩散 | 第19-24页 |
| ·成核过程 | 第24-28页 |
| ·形核和长大 | 第24-25页 |
| ·岛尺寸分布理论 | 第25-28页 |
| ·粗糙度 | 第28页 |
| ·多层膜的生长 | 第28-32页 |
| ·薄膜三维生长的模式 | 第28-30页 |
| ·薄膜的层间扩散 | 第30-31页 |
| ·薄膜三维生长向二维生长的转变 | 第31-32页 |
| ·薄膜生长的方法 | 第32-38页 |
| ·分子动力学方法 | 第32-34页 |
| ·蒙特卡罗方法 | 第34页 |
| ·动力学蒙特卡罗模型(KMC模型) | 第34-35页 |
| ·量子力学方法 | 第35页 |
| ·小结 | 第35-38页 |
| 第3章 Fcc(110)面模型的建立和模拟的实现 | 第38-48页 |
| ·衬底结构及其对原子运动的影响 | 第38-39页 |
| ·薄膜生长中的事件 | 第39-46页 |
| ·模型概述 | 第39页 |
| ·沉积 | 第39-41页 |
| ·同层扩散 | 第41-43页 |
| ·层间扩散 | 第43-46页 |
| ·处理方法 | 第46-48页 |
| ·周期性边界条件 | 第46-47页 |
| ·关键步骤的计算方法 | 第47-48页 |
| 第4章 结果分析与讨论 | 第48-70页 |
| ·(110)面上台阶上跃对岛形貌的影响 | 第48-56页 |
| ·不考虑生长条件情况下的形貌图 | 第49-51页 |
| ·考虑基底温度变化时的形貌图 | 第51-53页 |
| ·考虑沉积速率变化时的形貌图 | 第53-56页 |
| ·(110)面上台阶下跃对岛形貌的影响 | 第56-62页 |
| ·不考虑生长条件情况下的形貌图 | 第56-58页 |
| ·考虑基底温度变化时的形貌图 | 第58-60页 |
| ·考虑沉积速率变化时的形貌图 | 第60-62页 |
| ·Ag(110)面不同生长条件对岛形貌的影响研究 | 第62-70页 |
| ·Ag(110)面上覆盖度对岛形貌的影响 | 第62-65页 |
| ·Ag(110)面上基底温度对岛形貌的影响 | 第65-67页 |
| ·Ag(110)面上沉积速率对岛形貌的影响 | 第67-70页 |
| 第5章 结论 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-78页 |
| 致谢 | 第78页 |
