铁电薄膜移相器的设计与制备研究

摘要	第1-5页
ABSTRACT	第5-9页
1 绪论	第9-17页
·铁电材料的基本特性	第9-11页
·相控阵天线用铁电薄膜移相器	第11-15页
·本文的研究目的和主要内容	第15-17页
2 共面波导结构的传输特性分析	第17-30页
·CPW 结构的特征阻抗分析	第17-25页
·CPW 结构的传输损耗分析	第25-27页
·叉指电极模型的电容值计算	第27-28页
·本章小结	第28-30页
3 铁电薄膜移相器结构的仿真与分析	第30-50页
·特征阻抗的MATLAB 求解与分析	第30-36页
·移相器单元结构的HFSS 仿真与分析	第36-49页
·本章小结	第49-50页
4 BPST 铁电薄膜材料的制备与性能表征	第50-69页
·铁电可调谐材料的设计	第50-51页
·BPST 靶材的制备与结构表征	第51-57页
·BPST 薄膜的制备与性能表征	第57-68页
·本章小结	第68-69页
5 铁电薄膜移相器的单元设计与制备研究	第69-78页
·铁电薄膜移相器的单元设计	第69-72页
·铁电薄膜移相器的单元制备研究	第72-77页
·本章小结	第77-78页
6 全文总结	第78-80页
·主要结论	第78-79页
·有待解决问题	第79-80页
致谢	第80-81页
参考文献	第81-86页
附录 1 攻读硕士学位期间发表的论文目录	第86页