碳纳米管微气泡发生器的制备与性能研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-18页
·微气泡发生器简介	第8-10页
·微气泡发生器在MEMS 中的应用	第10-11页
·碳纳米管微气泡发生器	第11-17页
·本文的研究内容	第17-18页
2 碳纳米管微气泡发生器的制备	第18-29页
·结构设计	第18-20页
·碳纳米管微气泡发生器电极制作	第20-23页
·介电电泳装配碳纳米管	第23-27页
·掩模层制作	第27页
·本章小结	第27-29页
3 碳纳米管微气泡发生器在空气中的电特性	第29-37页
·退火对电阻的影响	第29-32页
·器件的温阻特性	第32-34页
·器件的电容特性	第34-36页
·本章小结	第36-37页
4 单微气泡发生器在液体环境中的性能	第37-50页
·实验装置和驱动电路	第37-39页
·产生气泡的实验研究	第39-44页
·微气泡发生器的动态电特性	第44-47页
·器件的热损坏分析	第47-49页
·本章小结	第49-50页
5 双气泡发生器在液体环境中的性能	第50-54页
·双气泡发生器的驱动匹配	第50-53页
·本章小结	第53-54页
6 总结	第54-55页
致谢	第55-56页
参考文献	第56-59页