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ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备工艺及其性能的研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-10页
第一章 绪论第10-26页
   ·ZnO 的基本物理性质和化学性质第10-17页
     ·ZnO 的晶体结构第10-11页
     ·ZnO 的表面化学性质第11-12页
     ·ZnO 的本证缺陷第12-14页
     ·ZnO 的光学性质第14-16页
     ·ZnO 的电学性质第16-17页
     ·ZnO 的纳米结构及其特性第17页
   ·ZnO 薄膜的制备方法第17-19页
     ·分子束外延生长(MBE)第17-18页
     ·激光溅射沉积(PLD)第18页
     ·化学气相沉积(CVD)第18页
     ·溅射法(Sputtering)第18页
     ·溶胶凝胶法(SOL-GEL)第18页
     ·其它技术第18-19页
   ·ZnO 的应用第19-20页
     ·现有应用第19页
     ·即将到来的应用和展望第19-20页
   ·本课题的研究内容、意义和主要创新点第20-22页
 参考文献第22-26页
第二章 溶胶凝胶法制备样品及实验测试介绍第26-34页
   ·引言第26页
   ·溶胶凝胶法简介第26-30页
     ·溶胶凝胶法的发展历史第26-27页
     ·溶胶凝胶法的优缺点第27页
     ·溶胶凝胶法的原理第27-28页
     ·溶胶凝胶法的成膜方法第28-29页
     ·本实验室采用的溶胶凝胶法第29-30页
   ·本论文实验测试手段及原理第30-33页
     ·X-射线衍射仪(X-Ray Diffraction)第30-31页
     ·光致发光(Photoluminescence)第31页
     ·扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscopy)第31页
     ·高分辨透射电子显微镜(Transmission electron microscopy)第31-32页
     ·双光束紫外可见分光光度计光谱仪(UV-VIS-NIR)第32页
     ·热分析仪(Thermal Analysis)第32-33页
 参考文献第33-34页
第三章 溶胶凝胶法制备 ZnO 的影响因素分析第34-52页
   ·引言第34-35页
   ·样品的制备和测试分析第35-36页
     ·ZnO 前驱溶胶的制备第35页
     ·ZnO 薄膜的制备第35-36页
   ·实验结果与分析第36-44页
     ·凝胶的热分析第36-38页
     ·溶胶的吸收光谱分析第38-39页
     ·ZnO 薄膜的结构与形貌第39-43页
     ·ZnO 薄膜的光学性质第43-44页
   ·乙二醇甲醚做溶剂成膜机理的研究第44-49页
     ·乙二醇甲醚作为溶剂的溶胶分析第44-46页
     ·溶胶的成膜过程第46-47页
     ·ZnO 成膜机理分析第47-49页
   ·本章小结第49-50页
 参考文献第50-52页
第四章 后热处理温度对三步法生长 ZnO 薄膜的影响第52-62页
   ·引言第52-53页
   ·制备和测试分析第53页
     ·实验过程第53页
     ·测试分析仪器第53页
   ·结果和讨论第53-59页
     ·ZnO 薄膜的结构和形貌第53-56页
     ·ZnO 薄膜的光学性质第56-58页
     ·凝胶的热分析第58-59页
   ·本章小结第59-60页
 参考文献第60-62页
第五章 两步法生长 ZnO 薄膜的相关研究第62-76页
   ·引言第62页
   ·实验过程第62-63页
   ·结果和分析第63-72页
     ·ZnO 薄膜的结构和发光性质第63-65页
     ·ZnO 薄膜的变温发光性质的研究第65-72页
   ·本章小结第72-74页
 参考文献第74-76页
第六章 结论与展望第76-78页
   ·结论第76-77页
   ·展望第77-78页
致谢第78-79页
硕士期间发表学术论文及主要成果第79页

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