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正交偏振激光干涉振动测量方法与实验研究

摘要第1-6页
Abstract第6-9页
第1章 绪论第9-13页
   ·激光干涉仪测量的目的和意义第9-10页
   ·国内外研究现状第10-11页
   ·本文的研究工作与研究方法第11-13页
第2章 正交偏振干涉仪的理论模型第13-24页
   ·基础理论第13-19页
     ·偏振光的琼斯矩阵第13-15页
     ·典型光学元件的琼斯矩阵第15-19页
   ·光路结构选择第19-21页
   ·理想情况下的正交偏振干涉原理第21-23页
   ·本章小结第23-24页
第3章 正交偏振干涉仪的误差分析第24-37页
   ·偏振片的误差分析第24-27页
   ·偏振分光棱镜的误差分析第27-28页
   ·波片的误差分析第28-33页
   ·光学元器件的选择第33-36页
     ·光学元件的选择第33-34页
     ·光学器件的安装与固定第34-36页
   ·本章小结第36-37页
第4章 光学器件性能的在线评价方法第37-50页
   ·起偏器的评价方法第37-42页
     ·起偏器的检测方法第37-41页
     ·在线检测方案第41页
     ·实验结果第41-42页
   ·偏振分光棱镜的评价方法第42-44页
     ·偏振分光棱镜的检测方法第42-43页
     ·在线检测方案第43-44页
     ·实验结果第44页
   ·波片的评价方法第44-48页
     ·波片的检测方法第44-47页
     ·在线检测方案第47-48页
     ·实验结果第48页
   ·消偏振分光棱镜的评价方法第48-49页
     ·在线测量方案第48-49页
     ·实验结果第49页
   ·本章小结第49-50页
第5章 干涉仪的调整方法第50-68页
   ·偏振干涉信号的评价方法第50-52页
   ·干涉仪的光路粗调方法第52-58页
   ·干涉仪的光路细调方法第58-67页
     ·起偏器第59-60页
     ·反射镜第60-61页
     ·干涉仪中的1/4波片第61-62页
     ·接收装置中的波片第62-65页
     ·探测器第65-67页
   ·本章小结第67-68页
第6章 正交偏振干涉仪的振动测量实验研究第68-75页
   ·信号采集与处理方法第68-69页
   ·干涉仪的振动测量试验与误差分析第69-71页
     ·PZT的标定第69-70页
     ·非线性误差第70-71页
   ·干涉仪的稳定性试验与误差分析第71-73页
   ·振动对干涉仪的影响及抗振方案第73-74页
   ·本章小节第74-75页
结论第75-76页
参考文献第76-81页
攻读硕士学位期间发表的论文和取得的科研成果第81-82页
致谢第82页

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