| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪言 | 第8-17页 |
| ·氧碘激光器的发展 | 第8-10页 |
| ·单重态氧发生器的发展 | 第10-12页 |
| ·放电单重态氧发生器研究概况 | 第12-15页 |
| ·射频放电单重态氧发生器 | 第12-14页 |
| ·微波放电单重态氧发生器 | 第14页 |
| ·直流辉光放电单重态氧发生器 | 第14-15页 |
| ·非自持放电单重态氧发生器 | 第15页 |
| ·本课题的目的、意义和研究内容 | 第15-17页 |
| 2 等离子体的基本物理特性和诊断 | 第17-34页 |
| ·电离气体与等离子体 | 第17-19页 |
| ·等离子体的基本性质 | 第19-22页 |
| ·电中性 | 第19页 |
| ·德拜屏蔽 | 第19-21页 |
| ·等离子体振荡和频率 | 第21-22页 |
| ·等离子体诊断 | 第22-32页 |
| ·静电探针法 | 第23-28页 |
| ·微波法 | 第28-30页 |
| ·光谱法 | 第30-31页 |
| ·激光法 | 第31-32页 |
| ·本章小结 | 第32-34页 |
| 3 射频放电氧等离子体 BOLTZMANN 方程求解 | 第34-47页 |
| ·理论 | 第34-35页 |
| ·数值方法 | 第35-37页 |
| ·输入截面 | 第37-40页 |
| ·结果与分析 | 第40-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 4 射频放电氧等离子体电子能量测量 | 第47-54页 |
| ·实验原理 | 第47-48页 |
| ·实验装置及材料 | 第48-50页 |
| ·实验方案及结果讨论 | 第50-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 5 全文总结 | 第54-55页 |
| 致谢 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-60页 |
| 附录1 攻读硕士学位期间发表论文目录 | 第60页 |