| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 1 绪论 | 第10-25页 |
| ·前言 | 第10-11页 |
| ·光刻胶 | 第11-18页 |
| ·光刻胶的分类 | 第11-14页 |
| ·光刻胶的组成 | 第14-18页 |
| ·248nm 深紫外光刻胶 | 第18-22页 |
| ·化学增幅技术 | 第18-19页 |
| ·248nm 光刻胶 | 第19-20页 |
| ·248nm 光刻胶用PAG | 第20-22页 |
| ·光刻胶的国内外研究现状及发展趋势 | 第22-23页 |
| ·光刻胶的国外发展现状 | 第22页 |
| ·光刻胶的国内发展现状 | 第22页 |
| ·光刻胶的今后发展趋势 | 第22-23页 |
| ·本课题的意义和主要研究内容 | 第23-25页 |
| ·本课题意义 | 第23页 |
| ·主要研究内容 | 第23-25页 |
| 2 产酸剂的合成、表征与性能测试 | 第25-47页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·试剂与仪器 | 第25-27页 |
| ·化学试剂 | 第25-26页 |
| ·测试仪器 | 第26-27页 |
| ·实验部分 | 第27-30页 |
| ·N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯（PAG-1）的制备 | 第27页 |
| ·N-羟基-5-降冰片烯-2，3-二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯（PAG-2）的制备 | 第27-29页 |
| ·N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯（PAG-3）的制备 | 第29-30页 |
| ·结果与讨论 | 第30-39页 |
| ·N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯（PAG-1）的制备 | 第30-33页 |
| ·N-羟基-5-降冰片烯二酸酐对甲苯磺酸酯（PAG-2）的制备 | 第33-37页 |
| ·N-羟基-3,6-内氧桥-4-环己烯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯（PAG-3）的制备 | 第37-39页 |
| ·性能测试 | 第39-45页 |
| ·溶解性 | 第39页 |
| ·热稳定性 | 第39-41页 |
| ·紫外吸收性能 | 第41-44页 |
| ·光解特性 | 第44-45页 |
| ·本章小结 | 第45-47页 |
| 3 主体树脂的合成、表征与性能测试 | 第47-61页 |
| ·引言 | 第47-48页 |
| ·药品与仪器 | 第48页 |
| ·化学试剂 | 第48页 |
| ·测试仪器 | 第48页 |
| ·实验部分 | 第48-50页 |
| ·单体的合成 | 第48-49页 |
| ·树脂的制备 | 第49-50页 |
| ·结果与讨论 | 第50-60页 |
| ·单体的合成 | 第50-56页 |
| ·树脂的制备 | 第56-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 4 光刻胶的配制及光刻工艺研究 | 第61-71页 |
| ·引言 | 第61-66页 |
| ·光刻胶的主要性能指标 | 第61-62页 |
| ·光刻工艺 | 第62-66页 |
| ·实验部分 | 第66-69页 |
| ·试剂和仪器 | 第66-67页 |
| ·实验部分 | 第67-69页 |
| ·结果与讨论 | 第69-70页 |
| ·聚苯乙烯共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺体系 | 第69页 |
| ·聚N-苯基甲基丙烯酰胺共N-(p-羟基苯基)马来酰亚胺体系 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 5 结论与展望 | 第71-73页 |
| ·结论 | 第71-72页 |
| ·展望 | 第72-73页 |
| 致谢 | 第73-74页 |
| 参考文献 | 第74-78页 |
| 附录:攻读学位期间发表论文目录 | 第78页 |
