目录 | 第1-7页 |
中文摘要 | 第7-9页 |
ABSTRACT | 第9-11页 |
第一章 绪论 | 第11-25页 |
·介电材料 | 第11-14页 |
·薄膜功能材料 | 第14-17页 |
·薄膜材料概述 | 第14-15页 |
·薄膜的制备技术 | 第15-17页 |
·钛酸铋系列材料 | 第17-20页 |
·Bi_4Ti_3O_(12) | 第18-19页 |
·Bi_4Ti_3O_7 | 第19-20页 |
·本论文的研究目的及主要内容 | 第20-22页 |
参考文献 | 第22-25页 |
第二章 钛酸铋薄膜材料的制备及测试方法 | 第25-33页 |
·引言 | 第25页 |
·薄膜的制备 | 第25-29页 |
·主要仪器设备 | 第25-26页 |
·实验原料 | 第26页 |
·前驱体溶液的配制 | 第26页 |
·衬底材料的选择及清洗 | 第26-27页 |
·薄膜的制备 | 第27-28页 |
·电极的制备 | 第28-29页 |
·分析测试技术 | 第29-32页 |
·差热与热重分析 | 第29页 |
·红外(Infrared-IR)光谱 | 第29页 |
·X-射线衍射分析 | 第29-30页 |
·原子力显微镜 | 第30页 |
·场发射扫描电子显微镜 | 第30页 |
·绝缘性质(电流-电压) | 第30页 |
·介电性质(介电频谱、介电温谱) | 第30-32页 |
参考文献 | 第32-33页 |
第三章 钐含量和前驱体溶液浓度对掺钐Bi_2Ti_2O_7薄膜性质的影响 | 第33-44页 |
·引言 | 第33页 |
·钐浓度对掺钐Bi_2Ti_2O_7薄膜的影响 | 第33-38页 |
·实验过程 | 第33-37页 |
·实验结论 | 第37-38页 |
·前驱体溶液浓度对薄膜的影响 | 第38-41页 |
·实验过程 | 第38页 |
·分析测试 | 第38-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
参考文献 | 第42-44页 |
第四章 (Bi_(1-x)Sm_x)_2Ti_2O_7薄膜的制备及性能研究 | 第44-60页 |
·引言 | 第44页 |
·前驱体溶液分析 | 第44-47页 |
·TG/DTA | 第44-46页 |
·红外光谱性质 | 第46-47页 |
·制备薄膜所用衬底及薄膜的结晶性及表面形貌 | 第47-51页 |
·制备薄膜所用衬底的 XRD | 第47-48页 |
·不同衬底上的薄膜的 XRD | 第48-50页 |
·不同衬底上的薄膜的原子力图 | 第50-51页 |
·薄膜厚度及断面形貌的测量 | 第51-53页 |
·薄膜电学性质的研究 | 第53-57页 |
·Si衬底上的薄膜电学性质 | 第53-56页 |
·Pt衬底上的薄膜电学性质 | 第56-57页 |
·本章小结 | 第57-59页 |
参考文献 | 第59-60页 |
第五章 掺钐Bi_2Ti_2O_7微晶的制备及性质研究 | 第60-68页 |
·引言 | 第60页 |
·制备不同条件下样品的 XRD | 第60-63页 |
·不同条件下样品制备的表面形貌 | 第63-64页 |
·介电性质的研究 | 第64-66页 |
·本章小结 | 第66-67页 |
参考文献 | 第67-68页 |
第六章 总结 | 第68-72页 |
·主要结论 | 第68-70页 |
·论文创新点及不足 | 第70-72页 |
论文创新点 | 第70页 |
需要进一步研究的内容 | 第70-72页 |
致谢 | 第72-73页 |
攻读硕士期间发表的论文及所获奖励 | 第73-75页 |
学位论文评阅及答辩情况表 | 第75页 |