| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-16页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·国内外激光均束技术研究进展 | 第9-15页 |
| ·非球面均束技术 | 第9-10页 |
| ·透镜/光楔列阵型均束器 | 第10-11页 |
| ·光波导均束器 | 第11-12页 |
| ·反射型面式/带式积分镜均束装置 | 第12页 |
| ·随机位相板均束器 | 第12-13页 |
| ·二元光学元件 | 第13-14页 |
| ·因“光”而异的激光均束技术 | 第14-15页 |
| ·本论文研究内容 | 第15-16页 |
| 第2章 基本理论 | 第16-32页 |
| ·几何光学理论 | 第16-19页 |
| ·几何光学的基本定律 | 第16-17页 |
| ·近轴光学球面成像系统 | 第17-19页 |
| ·像差理论 | 第19-22页 |
| ·光波的标量衍射理论 | 第22-28页 |
| ·惠更斯－菲涅耳原理 | 第22-24页 |
| ·菲涅耳－基而霍夫衍射公式 | 第24-25页 |
| ·基而霍夫衍射公式的近似 | 第25-28页 |
| ·评价激光光束质量的参数 | 第28-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第3章 均束装置的设计与加工 | 第32-58页 |
| ·设计方案的可行性分析 | 第32-35页 |
| ·实验用激光器 | 第32-33页 |
| ·设计方案的选择 | 第33-35页 |
| ·均束装置的理论设计 | 第35-49页 |
| ·反射型正交双带式积分镜均束装置的系统结构图 | 第35页 |
| ·初步设计 | 第35-44页 |
| ·积分镜的调整 | 第44-49页 |
| ·积分镜的加工 | 第49-56页 |
| ·超精密机床概况 | 第49-52页 |
| ·积分镜加工流程 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第4章 实验结果与误差分析 | 第58-72页 |
| ·激光烧结陶瓷均束装置 | 第58-59页 |
| ·测量结果 | 第59-64页 |
| ·可视激光束光斑的测量 | 第59-63页 |
| ·CO_2激光束光斑的测量 | 第63-64页 |
| ·存在问题及分析 | 第64-68页 |
| ·设计本身引起的光斑不均匀性 | 第64-65页 |
| ·实际加工尺寸误差引起的光斑不均匀性 | 第65-66页 |
| ·积分镜I_1表面粗糙度引起的光斑不均匀性及能量损失 | 第66-68页 |
| ·改进方案 | 第68-69页 |
| ·增大光斑尺寸调节范围的方法 | 第68页 |
| ·将凹面形积分镜改为凸面形积分镜 | 第68-69页 |
| ·激光烧结陶瓷实验 | 第69-70页 |
| ·本章小结 | 第70-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 参考文献 | 第74-76页 |
| 攻读硕士学位期间申请的专利、发表的论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |