基于MEMS光栅平动式光调制器结构参数分析与实验
| 中文摘要 | 第1-5页 |
| 英文摘要 | 第5-9页 |
| 1 绪论 | 第9-16页 |
| ·引言 | 第9-11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-14页 |
| ·课题研究内容与意义 | 第14-16页 |
| 2 GMLM 机电特性 | 第16-25页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·基本结构与原理 | 第16-17页 |
| ·机电模型 | 第17-18页 |
| ·静态特性 | 第18-22页 |
| ·动态特性 | 第22-24页 |
| ·本章小结 | 第24-25页 |
| 3 GMLM 光学特性 | 第25-36页 |
| ·引言 | 第25页 |
| ·光学模型 | 第25页 |
| ·不考虑悬臂梁模型光学分析与仿真 | 第25-30页 |
| ·考虑悬臂梁模型光学分析与仿真 | 第30-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 4 GMLM 结构分析 | 第36-52页 |
| ·初始间距 | 第36-37页 |
| ·可动光栅结构 | 第37-42页 |
| ·支撑悬臂梁结构 | 第42-46页 |
| ·光学有效面积 | 第46-50页 |
| ·本章小结 | 第50-52页 |
| 5 GMLM 实验与分析 | 第52-66页 |
| ·引言 | 第52页 |
| ·波长扫描实验 | 第52-58页 |
| ·波长扫描实验推广 | 第58-60页 |
| ·器件原理性实验 | 第60-61页 |
| ·器件衍射实验 | 第61-64页 |
| ·本章小结 | 第64-66页 |
| 6 结论与展望 | 第66-68页 |
| 致谢 | 第68-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 附录 | 第73-74页 |
| 独创性声明 | 第74页 |
| 学位论文版权使用授权书 | 第74页 |
