| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-13页 |
| 引言 | 第13-15页 |
| 1 绪论 | 第15-37页 |
| 1．1 选题意义 | 第15-16页 |
| 1．2 DLC膜的结构 | 第16-23页 |
| 1．2．1 DLC膜的结构模型 | 第17-21页 |
| 1．2．2 DLC膜的结构分析方法 | 第21-23页 |
| 1．3 DLC膜的制备技术 | 第23-26页 |
| 1．3．1 离子束沉积法 | 第24页 |
| 1．3．2 磁控溅射法 | 第24-25页 |
| 1．3．3 真空阴极电弧沉积法 | 第25页 |
| 1．3．4 等离子体增强化学气相沉积法 | 第25-26页 |
| 1．4 DLC膜的生长机理 | 第26-27页 |
| 1．5 DLC膜的性能 | 第27-32页 |
| 1．5．1 DLC膜的机械性能 | 第27-29页 |
| 1．5．2 DLC膜的摩擦学性能 | 第29-32页 |
| 1．5．3 DLC膜的电学性能 | 第32页 |
| 1．5．4 DLC膜的光学性能 | 第32页 |
| 1．6 DLC膜在应用中存在的问题及解决方法 | 第32-36页 |
| 1．6．1 多层膜技术 | 第32-33页 |
| 1．6．2 掺杂技术 | 第33-36页 |
| 1．7 本文主要研究内容 | 第36-37页 |
| 2 实验设备及分析方法 | 第37-47页 |
| 2．1 实验设备 | 第37-40页 |
| 2．1．1 DLC膜及梯度复合膜制备系统简介 | 第37-38页 |
| 2．1．2 离子注入设备简介 | 第38-40页 |
| 2．2 DLC膜的制备工艺 | 第40-41页 |
| 2．2．1 基体材料及准备 | 第40页 |
| 2．2．2 DLC膜的制备工艺 | 第40页 |
| 2．2．3 离子注入掺杂DLC膜的制备工艺 | 第40-41页 |
| 2．2．4 梯度复合DLC膜的制备工艺 | 第41页 |
| 2．3 分析方法 | 第41-47页 |
| 2．3．1 表面形貌分析 | 第41-42页 |
| 2．3．2 成分和结构分析 | 第42页 |
| 2．3．3 机械性能分析 | 第42-43页 |
| 2．3．4 摩擦学性能分析 | 第43-45页 |
| 2．3．5 表面吸附力测试 | 第45-47页 |
| 3 闭合场非平衡磁控溅射(CFUBMS)沉积DLC膜工艺研究 | 第47-65页 |
| 3．1 引言 | 第47-49页 |
| 3．2 闭合场非平衡磁控溅射系统的特性 | 第49-52页 |
| 3．3 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的表面形貌与结构 | 第52-58页 |
| 3．3．1 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的表面形貌 | 第52-54页 |
| 3．3．2 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的结构 | 第54-58页 |
| 3．4 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的机械性能 | 第58-62页 |
| 3．4．1 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的硬度 | 第58-60页 |
| 3．4．2 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的内应力 | 第60-61页 |
| 3．4．3 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的附着强度 | 第61-62页 |
| 3．5 闭合场非平衡磁控溅射DLC膜的摩擦学性能 | 第62-63页 |
| 3．6 本章小结 | 第63-65页 |
| 4 磁过滤阴极弧(FCVA)沉积ta-C膜工艺研究 | 第65-83页 |
| 4．1 引言 | 第65-66页 |
| 4．2 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的表面形貌与结构 | 第66-70页 |
| 4．2．1 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的表面形貌 | 第66-68页 |
| 4．2．2 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的结构 | 第68-70页 |
| 4．3 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的机械性能 | 第70-75页 |
| 4．3．1 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的硬度 | 第70-73页 |
| 4．3．2 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的内应力 | 第73-74页 |
| 4．3．3 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的附着强度 | 第74-75页 |
| 4．4 磁过滤阴极弧沉积ta-C膜的摩擦学性能 | 第75-81页 |
| 4．5 本章小结 | 第81-83页 |
| 5 钛离子注入掺杂DLC膜结构和性能研究 | 第83-104页 |
| 5．1 引言 | 第83-84页 |
| 5．2 钛离子注入DLC膜的表面形貌与结构 | 第84-94页 |
| 5．2．1 钛离子注入DLC膜的表面形貌 | 第84-86页 |
| 5．2．2 钛离子注入DLC膜的结构 | 第86-94页 |
| 5．3 钛离子注入DLC膜的机械性能 | 第94-101页 |
| 5．3．1 钛离子注入DLC膜的硬度 | 第94-98页 |
| 5．3．2 钛离子注入DLC膜的内应力 | 第98-99页 |
| 5．3．3 钛离子注入DLC膜的附着强度 | 第99-101页 |
| 5．4 钛离子注入DLC膜的摩擦学性能 | 第101-103页 |
| 5．5 本章小结 | 第103-104页 |
| 6 梯度复合DLC膜结构和性能研究 | 第104-114页 |
| 6．1 引言 | 第104-105页 |
| 6．2 梯度复合DLC膜的表面形貌与结构 | 第105-109页 |
| 6．2．1 梯度复合DLC膜的表面形貌 | 第105-107页 |
| 6．2．2 梯度复合DLC膜的结构 | 第107-109页 |
| 6．3 梯度复合DLC膜的机械性能 | 第109-111页 |
| 6．3．1 梯度复合DLC膜的硬度 | 第109-111页 |
| 6．3．2 梯度复合DLC膜的附着强度 | 第111页 |
| 6．4 梯度复合DLC膜的摩擦学性能 | 第111-112页 |
| 6．5 梯度复合DLC膜的应用 | 第112-113页 |
| 6．6 本章小结 | 第113-114页 |
| 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-129页 |
| 攻读博士学位期间发表学术论文情况 | 第129-131页 |
| 创新点摘要 | 第131-132页 |
| 致谢 | 第132-133页 |
| 大连理工大学学位论文版权使用授权书 | 第133页 |
