微机械电容式加速度计的系统分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-15页 |
| ·微机电系统概述 | 第7-11页 |
| ·微机械加速度计 | 第11-13页 |
| ·微机械加速度计的产生与分类 | 第11-12页 |
| ·国内外微机械电容加速度计的研究现状 | 第12-13页 |
| ·本论文的主要目的和主要工作 | 第13-15页 |
| 第二章 微机械电容加速度计的工作原理及模型 | 第15-39页 |
| ·微机械加速度计的工作原理与模型 | 第15-18页 |
| ·微机械加速度计的工作原理 | 第15页 |
| ·微机械加速度计的模型 | 第15-18页 |
| ·微机械电容式加速度计的工作原理 | 第18-22页 |
| ·微机械电容式加速度计的工作原理 | 第18页 |
| ·电容的改变方式与工作原理 | 第18-22页 |
| ·开环微电容加速度计的数学模型 | 第22-26页 |
| ·开环静电力 | 第23页 |
| ·开环静电负刚度 | 第23-26页 |
| ·闭环微电容加速度计的数学模型 | 第26-35页 |
| ·偏置电压的配置 | 第26-28页 |
| ·闭环静电反馈电路中偏置电压的设置 | 第28-35页 |
| ·闭环伺服系统的动态模型 | 第35-36页 |
| ·电模拟模型 | 第36-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 微机械电容式加速度计的结构设计 | 第39-49页 |
| ·微机械电容式加速度计的三种结构 | 第39-40页 |
| ·表面加工定齿均匀配置梳齿式电容加速度计 | 第40-41页 |
| ·体硅加工定齿偏置结构的梳齿电容加速度计 | 第41-47页 |
| ·体硅加工定齿偏置结构的优点 | 第42-43页 |
| ·结构粱选择 | 第43-45页 |
| ·折叠粱刚度计算 | 第45-47页 |
| ·本章小结 | 第47-49页 |
| 第四章 微机械电容加速度计的电容检测电路 | 第49-55页 |
| ·电容测量转换电路 | 第49-54页 |
| ·加速度计激励信号的确定 | 第49-50页 |
| ·电荷放大器 | 第50-51页 |
| ·高通滤波器 | 第51-52页 |
| ·差动运算放大器 | 第52-53页 |
| ·同步解调器 | 第53-54页 |
| ·集成测量电路 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 第五章 伺服电容加速度计的性能分析 | 第55-69页 |
| ·静电力分析 | 第55-57页 |
| ·量程分析 | 第57-58页 |
| ·稳定性分析 | 第58-60页 |
| ·分辨率分析 | 第60-61页 |
| ·表头的交叉灵敏度分析 | 第61-64页 |
| ·噪声分析 | 第64-65页 |
| ·阻尼分析 | 第65-67页 |
| ·本章小结 | 第67-69页 |
| 第六章 结束语 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-75页 |
| 研究成果 | 第75页 |
