新型TiO2紫外探测器的研制
| 第一章 绪论 | 第1-10页 |
| ·论文的研究背景 | 第7-8页 |
| ·本论文的主要工作 | 第8-10页 |
| 第二章 半导体光电探测器的结构和工作原理 | 第10-24页 |
| ·引言 | 第10页 |
| ·半导体光电探测器结构的基本类型 | 第10-15页 |
| ·探测器的工作原理及主要参数 | 第15-23页 |
| ·小结 | 第23-24页 |
| 第三章 TiO_2薄膜材料的制备与表征 | 第24-38页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·TiO_2薄膜的制备 | 第24-27页 |
| ·TiO_2溶胶的制备过程 | 第25-26页 |
| ·涂膜过程 | 第26-27页 |
| ·热处理过程 | 第27页 |
| ·TiO_2薄膜的表征 | 第27-36页 |
| ·X-射线衍射分析 | 第27-30页 |
| ·原子力显微镜分析(AFM) | 第30-32页 |
| ·X射线光电子能谱(XPS) | 第32-34页 |
| ·紫外吸收光谱 | 第34-36页 |
| ·小结 | 第36-38页 |
| 第四章 TiO_2紫外探测器的研制 | 第38-50页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·TiO_2紫外探测器的制备 | 第38-44页 |
| ·AL与TiO_2的欧姆接触 | 第38-40页 |
| ·TiO_2叉指状电极结构探测器的制备 | 第40-44页 |
| ·探测器性能测试及结果讨论 | 第44-49页 |
| ·小结 | 第49-50页 |
| 参考文献 | 第50-53页 |
| 致谢 | 第53-54页 |
| 中文详细摘要 | 第54-56页 |
| Abstract | 第56-58页 |
